高精度光学少子寿命测试仪

更新:2025-11-13 09:00 编号:43476656 发布IP:180.108.17.66 浏览:4次
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九域半导体科技(苏州)有限公司
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涡流法,硅片,光学,少子寿命,非接触
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详细介绍

高精度少子寿命测试是评估半导体材料(如硅、锗)中少数载流子复合速率的关键技术,广泛应用于太阳能电池、半导体制造等领域。以下是关键信息:

定义与参数

高精度少子寿命指少数载流子(电子或空穴)在半导体材料中存活的平均时间,反映材料缺陷(如重金属污染、表面复合效应)对载流子迁移率的影响。核心参数包括:

  • ‌体寿命‌(τ_bulk):材料内部的平均寿命

  • ‌表面复合速率‌(S):材料表面载流子复合速度

  • ‌贯穿深度‌:测试信号穿透材料的深度,高精度仪器可达500微米以上 ‌

测试技术

高精度测试需结合多种技术:

  1. ‌准稳态光电导法‌(QSSPC):通过光脉冲激发载流子,监测其浓度变化计算寿命,覆盖100ns至10ms寿命范围 ‌

  2. ‌高频光电导衰减法‌(HF-PCD):采用高频载波信号检测微波反射相位变化,推导载流子迁移率,检测速度达30ms/数据点 ‌

  3. ‌微波光电导法‌(MDP):适用于低阻硅料(电阻率>0.1Ω·cm),解决传统方法无法检测低阻材料的缺陷 ‌

应用场景

  1. ‌太阳能电池制造‌:评估磷扩散工艺均匀性,开路电压每降低10mV对应寿命减少约30μs ‌

  2. ‌半导体生产‌:监控硅棒切片、扩散工艺参数,优化制造参数以减少缺陷 ‌

  3. ‌材料质量控制‌:检测硅芯、检磷棒等不规则材料的体寿命与表面复合速率 ‌

仪器特点

高精度仪器需满足:

  • 支持非接触式测量,避免传统接触法引入的参数波动 ‌

  • 动态曲线监控功能,实时识别陷阱效应和表面复合缺陷 ‌

  • 扩展测试范围至低阻硅料(电阻率可达0.01Ω·cm) ‌



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成立日期2021年08月24日
法定代表人张月兰
注册资本1000万人民币
主营产品晶圆电阻率测试仪、硅片电阻率测试仪、涡流法低电阻率分析仪、晶锭电阻率分析仪、迁移率(霍尔)测试仪、少子寿命测试仪、PN型号、表面光电压仪JPV\SPV、汞CV、ECV。为碳化硅、硅片、氮化镓、衬底和外延厂商提供测试和解决方案。
经营范围许可项目:第二类医疗器械生产(依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动,具体经营项目以审批结果为准)一般项目:技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广;软件开发;人工智能基础软件开发;人工智能应用软件开发;新材料技术研发;机械设备研发;计算机系统服务;信息系统集成服务;工业工程设计服务;工程和技术研究和试验发展;科技推广和应用服务;半导体器件专用设备制造;半导体器件专用设备销售;集成电路芯片及产品制造;集成电路芯片及产品销售;光伏设备及元器件制造;光伏设备及元器件销售;工业自动控制系统装置制造;工业自动控制系统装置销售;电子专用材料研发;电子专用材料制造;电子专用材料销售;光电子器件制造;光电子器件销售;实验分析仪器制造;实验分析仪器销售;电子测量仪器制造;电子测量仪器销售;电子元器件批发;电子专用设备销售;第一类医疗器械生产;第一类医疗器械销售;第二类医疗器械销售;机械电气设备制造;机械电气设备销售;电子产品销售;五金产品批发;技术进出口;进出口代理;货物进出口(除依法须经批准的项目外,凭营业执照依法自主开展经营活动)
公司简介公司成立于2021年,是一家注册在苏州、具备世界领先技术的非接触式半导体检测分析设备制造商。公司集研发、设计、制造、销售于一体,主要攻克国外垄断技术,替代进口产品,使半导体材料测试设备国产化。主要产品:非接触式无损方块电阻测试仪、晶圆方阻测试仪,方阻测试仪,硅片电阻率测试仪,涡流法高低电阻率分析仪,晶锭电阻率分析仪,涡流法电阻率探头和PN探头测试仪,迁移率(霍尔)测试仪,少子寿命测试仪,晶圆、硅片 ...
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